	Compatibility		Mechanical specifications
Part number	Compatible telecentric lenses	Compatible CMPH pattern mounts	Dimensions width × height	Thickness	Active area width × height	Squares width	Photomask type	Class	Grade	Certificate
	Part numbers ending in		(mm × mm)	(mm)	(mm × mm)	(mm)
								1	1	2
PT004-009校准标定板	004, 007 and 009	CMPH 004-024	33 x 26	3	15 x 13	0.20	Glass	1	-	No	购买
PT016-024校准标定板	016, 024	CMPH 004-024	33 x 26	3	31 x 24	0.60	Glass	1	-	No	购买
PT036-056校准标定板	036, 048 and 056	CMPH 036-056	66 x 52	3	64 x 51	1.35	Glass	1	-	No	购买
PT064-096校准标定板	064, 072, 080, 085 and 096	CMPH064-096, CMTS064-096	107 x 83	3	105 x 79	2.20	Glass	1	-	No	购买
PT120-144远心镜头校准标定板	110, 120, 130 and 144	-	180 x 140	3	170 x 140	3.00	Glass	2	-	No	购买
PT192-240远心镜头校准标定板	192, 200, 240	-	300 x 240	3	260 x 200	4.00	Glass	2	-	No	购买
PT260-310远心镜头校准标定板	-	-	340 x 280	3	320 x 260	5.00	Glass	2	-	No	购买
PT004-009-C有证书的远心镜头校准标定板	004, 007 and 009	CMPH 004-024	33 x 26	3	15 x 13	0.20	Glass	2	-	Yes	购买
PT016-024-C有证书的远心镜头校准标定板	016, 024	CMPH 004-024	33 x 26	3	31 x 24	0.60	Glass	2	-	Yes	购买
PT036-056-C有证书的远心镜头校准标定板	036, 048 and 056	CMPH 036-056	66 x 52	3	64 x 51	1.35	Glass	2	-	Yes	购买
PT064-096-C有证书的远心镜头校准标定板	064, 072, 080, 085 and 096	CMPH064-096, CMTS064-096	107 x 83	3	105 x 79	2.20	Glass	2	-	Yes	购买
PT120-144-C有证书的远心镜头校准标定板	110, 120, 130 and 144	-	180 x 140	3	170 x 140	3.00	Glass	2	-	Yes	购买
PT192-240-C有证书的远心镜头校准标定板	192, 200, 240	-	300 x 240	3	260 x 200	4.00	Glass	2	-	Yes	购买
PT260-310-C有证书的远心镜头校准标定板	-	-	340 x 280	3	320 x 260	5.00	Glass	2	-	Yes	购买
PT004-009-P具有镀膜的远心镜头校准标定板，尺寸 33 x 26 mm x mm，正方形0.2 mm	004, 007 and 009	CMPH 004-024	33 x 26	3	15 x 13	0.20	Film	-	4	No	购买
PT016-024-P具有镀膜的远心镜头校准标定板，尺寸 33 x 26 mm x mm，正方形0.6mm	016, 024	CMPH 004-024	33 x 26	3	31 x 24	0.60	Film	-	4	No	购买
PT036-056-P具有镀膜的远心镜头校准标定板，尺寸 66 x 52mm x mm，正方形1.35mm	036, 048 and 056	CMPH 036-056	66 x 52	3	64 x 51	1.35	Film	-	4	No	购买
PT064-096-P具有镀膜的远心镜头校准标定板，尺寸 107 x 83mm x mm，正方形2.2mm	064, 072, 080, 085 and 096	CMPH064-096, CMTS064-096	107 x 83	3	105 x 79	2.20	Film	-	4	No	购买
PT120-144-P具有镀膜的远心镜头校准标定板，尺寸 180 x 140mm x mm，正方形3mm	110, 120, 130 and 144	-	180 x 140	3	170 x 140	3.00	Film	-	4	No	购买
PT192-240-P具有镀膜的远心镜头校准标定板，尺寸 300 x 240mm x mm，正方形4mm	192, 200, 240	-	300 x 240	3	260 x 200	4.00	Film	-	4	No	购买
PT260-310-P具有镀膜的远心镜头校准标定板，尺寸340 x 280mm x mm，正方形5mm	-	-	340 x 280	3	320 x 260	5.00	Film	-	4	No	购买
PTCP-S1-HR1-C有证书的远心镜头校准标定板	TCCP12144, TCCP23144, TCCP3MHR144, TCCP5MHR144	-	180 x 140	3	167.4 x 129.6	1.35	Glass	2	-	Yes	购买
PTCP-M1-LR1-C有证书的远心镜头校准标定板	TCCP12192, TCCP23192	-	245 x 196	3	237.6 x 184.8	2.20	Glass	2	-	Yes	购买
PTCP-M1-HR1-C有证书的远心镜头校准标定板	TCCP3MHR192, TCCP5MHR192	-	245 x 196	3	237.6 x 189	1.35	Glass	2	-	Yes	购买
PTCP-L1-LR1-C具有镀膜和证书的远心镜头校准标定板，尺寸300 x 240 mm x mm，正方形2,2 mm	TCCP12260, TCCP23260	-	300 x 240	3	281.6 x 228.8	2.20	Glass	2	-	Yes	购买
PTCP-L1-HR1-C具有镀膜和证书的远心镜头校准标定板，尺寸300 x 240 mm x mm，正方形1.35 mm	TCCP3MHR260, TCCP5MHR260	-	300 x 240	3	286.2 x 226.8	1.35	Glass	2	-	Yes	购买
PTCP-S1-HR1-P具有镀膜的远心镜头校准标定板，尺寸300 x 240 mm x mm，正方形1.35 mm	TCCP12144, TCCP23144, TCCP3MHR144, TCCP5MHR144	-	180 x 140	3	167.4 x 129.6	1.35	Film	-	4	No	购买
PTCP-M1-LR1-P具有镀膜的远心镜头校准标定板，尺寸 245 x 195 mm x mm，正方形2.2 mm	TCCP12192, TCCP23192	-	245 x 195	3	237.6 x 184.8	2.20	Film	-	4	No	购买
PTCP-M1-HR1-P具有镀膜的远心镜头校准标定板，尺寸 245 x 195 mm x mm，正方形1.35 mm	TCCP3MHR192, TCCP5MHR192	-	245 x 195	3	237.6 x 189	1.35	Film	-	4	No	购买
PTCP-L1-LR1-P具有镀膜的远心镜头校准标定板，尺寸 300 x 240 mm x mm，正方形2.2 mm	TCCP12260, TCCP23260	-	300 x 240	3	281.6 x 228.8	2.20	Film	-	4	No	购买
PTCP-L1-HR1-P具有镀膜的远心镜头校准标定板，尺寸 300 x 240 mm x mm，正方形1.35 mm	TCCP3MHR260, TCCP5MHR260	-	300 x 240	3	286.2 x 226.8	1.35	Film	-	4	No	购买

最后更新: 2021-03-29

注释

Class number (2*) for Emulsion-on-glass photomasks differs from usual Chrome-on-glass. Specifications are in the tech info section.
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技术文档

Data table (最后更新::2021-03-29)

XLS

CoC Format Pattern 2019

兼容产品

TC telecentric lens for matrix detectors

TC 系列

双远心镜头,最大支持 2/3" 面阵探测器

LTCLHP 系列

高性能远心照明器

TCBENCH telecentric optical assembly for machine vision applications

TCBENCH 系列

易于测量的TC远心光学试验台套件

CMPH 系列

校准标定板支架

另请参见

PTPR 系列

可以通过以下方法计算图案特征的尺寸公差：

Dimensional Tolerance = ± (A + B * C)

A = Positioning error

B = Speed factor

C = Dimension of interest

长度超过10mm的2级图案尺寸公差示例

Dimensional Tolerance = ± 0.0016mm + (±0.000008mm x 10 mm) = ± 0.00168 mm

For Chrome-on-glass Photomask
Class	Min feature dimensions; Min spacing(µm)	Positioning error (µm)	Speed factor (µm/mm)
1	1.4	6.4	0.016
2	0.8	1.6	0.008
3	0.4	0.6	0.004
4	0.2	0.2	0.001

For Film-on-glass Photomask
Grade	Min feature dimensions; Min spacing(µm)	Positioning error (µm)	Speed factor (µm/mm)
1	9.6	9.6	0.015
2	4.8	9.6	0.015
3	2.4	9.6	0.015
4	1.2	9.6	0.015

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